Null Partikel. Null Risiko. Maximale Strömungsanalyse.Partikelfreie Strömungsmessung
für Reinräume in der Halbleiter- und Mikroelektronik-Industrie
Präzise Strömungskontrolle
für Halbleiterfertigung und Mikroelektronik
In der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie sind Reinräume essenziell für die Herstellung hochwertiger Chips und Bauteile. Selbst kleinste Luftverwirbelungen oder Partikel können Defekte und Ausschuss verursachen. Deshalb ist eine exakte Luftströmungsführung erforderlich, um kontaminationsfreie Produktionsbedingungen sicherzustellen.
LaVision bietet mit FlowBOS CR Kamera ein optisches Hochpräzisionssystem, das Luftströmungen in Reinräumen visualisiert – ohne Partikel, ohne Verunreinigungen, ohne langwierige Betriebsunterbrechungen.
Luftführungskonzepte in Reinräumen – Warum Präzisionsmessungen
essenziell sind
Die Wahl des richtigen Luftführungskonzepts ist entscheidend für die Effizienz und Reinheitsklasse eines Reinraums. Mit FlowBOS CR können diese Luftführungskonzepte in Echtzeit geprüft und optimiert werden.
Unterschiedliche Fertigungsprozesse und räumliche Gegebenheiten erfordern spezifische Strömungskonzepte:
Laminarflow-Zonen
Gleichmäßige, unidirektionale Luftströmung für kritische Prozesse
Turbulenzarme Verdrängungsströmung (TAV)
Speziell für die Mikroelektronik mit Luftabzug über Doppelböden
Hybridlösungen
Kombination aus turbulenter Mischströmung und gerichteter Luftführung für spezifische Fertigungsbereiche
LaVision – Ihr idealer Partner für Reinraum-Messungen
- Weltmarktführer in der optischen Strömungsanalyse – Mehr als 35 Jahre Erfahrung in High-Tech-Branchen
- Etabliertes System für Halbleiter- & Mikroelektronikfertigung – Präzise, verlässliche & rückstandsfreie Messungen
- Echtzeit-Visualisierung ohne Partikel – Sicherstellung reiner Luftströmungen ohne Aerosole
- Maximale Effizienz & Sicherheit – Fehlererkennung und Prozessoptimierung ohne langwierige Betriebsunterbrechung und Risiken der Verunreinigung
FlowBOS CR Kamera –
Partikelfrei Luftströmungen detailliert messen
LaVisions FlowBOS CR Kameras zur Strömungsvisualisierung in Reinräumen arbeiten statt mit Aerosolen mit einem gesundheitlich unbedenklichen und optisch aktiven Tracergas, wodurch eine Partikelkontamination von vornherein ausgeschlossen wird.
Kontaminationsfreie Luftströmungsanalyse für Reinräume
in der Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigung
Luft und (Tracergas) Impfgas sind strömungsphysikalisch identisch mit idealem Folgeverhalten für Ihre Analyse
Überzeugende Features der FlowBOS CR Kamera
Umfassende FlowBOS Datenvisualisierung und Analyse
Maximale Effizienz in der Strömungsanalyse erfordert nicht nur präzise Messgeräte, sondern auch leistungsfähige Datenanalyse zur Auswertung und Visualisierung der Messdaten. FlowBos ist eine der weltweit führenden Lösungen für die Analyse von Strömungen, thermischen Prozessen und Partikelbewegungen. Unsere Kamera-Systeme ermöglichen die vollständige Verarbeitung, Auswertung und Dokumentation von Messdaten in einer intuitiven Umgebung.
Vorteile der verwendeten
Datenanalyse
- Automatisierte Datenerfassung und -verarbeitung: Reduziert manuelle Arbeitsschritte und Fehlerquellen
- Hochpräzise Bildverarbeitung & Strömungsanalyse: Detaillierte Visualisierung aller relevanten Parameter
- Echtzeit-Analyse & Vergleich mit Referenzwerten: Sofortige Identifikation von Abweichungen
- Optimierte Workflows sowie Reporting-Funktionen: Dokumentation nach höchsten Qualitätsstandards
Anwendungsbereiche in der Halbleiterindustrie
- Luftströmungsanalyse in Reinräumen: Optimierung der Strömungskonzepte für eine partikelarme Umgebung
- Leckagedetektion: Schnelle Identifikation von Undichtigkeiten in Fertigungsprozessen
- Thermische Strömungsanalyse: Optimierung von Kühlsystemen für empfindliche Bauteile
- Echtzeit-Überwachung & Qualitätskontrolle: Sicherstellung konstanter Produktionsbedingungen
Fragen & Antworten zum Einsatz der FlowBOS
CR-Kamera in der Halbleiter-Industrie
Warum ist eine optische Strömungsvisualisierung besser als herkömmliche Rauchtests?
FlowBOS CR ermöglicht Messungen ohne Partikel oder Rauch, wodurch es für Reinräume geeignet ist. Herkömmliche Methoden wie Rauchtests können Verunreinigungen hinterlassen.
Wie kann FlowBOS CR die Effizienz von Reinräumen verbessern?
Durch die exakte Visualisierung und Optimierung von Luftströmungen können Energieverbrauch reduziert und Produktionsprozesse verbessert werden.
Welche Strömungskonzepte können mit FlowBOS CR analysiert werden?
- Laminarströmung (unidirektional)
- Turbulenzarme Verdrängungsströmung (TAV)
- Mischströmung für spezifische Anwendungen
Ist FlowBOS CR für hochreine Fertigungsbereiche geeignet?
Ja, die Kamera ist komplett gekapselt (IP67), für kontaminationsfreie Messungen geeignet und erfüllt höchste Reinraumstandards.
Wie kann FlowBOS CR in bestehende Qualitätskontrollsysteme integriert werden?
Dank intelligenter Daten-Schnittstellen kann FlowBOS CR direkt in bestehende QC- und Monitoring-Systeme eingebunden werden.